上海光源關鍵技術研制再傳捷報。繼2022年10月800mm高精度平面反射鏡自主研制取得重大突破后,上海光源光學組再接再厲,于2023年4月成功研制出1000mm大尺寸高精度X射線平面反射鏡。其各項參數(shù)已達到國際先進水平,并將進入實用化階段。
2023年4月19日至20日,由來自中國科學技術大學、北京高能物理所、同濟大學、上海光機所的4位專家組成的工藝測試專家組在上海光源對1000mm大尺寸高精度X射線平面反射鏡進行了現(xiàn)場測試。測試結果表明:反射鏡全長1000mm,光學有效長度950mm,表面斜率誤差0.202μrad(RMS),表面粗糙度0.276nm(RMS),主要技術指標達到國際先進水平。此前同步輻射光源使用的大尺寸高精度反射鏡均依賴進口,該反射鏡的成功研制標志著上海光源突破技術瓶頸,具備了同步輻射大尺寸高精度X射線平面反射鏡的自主制造能力,為我國同步輻射光源光束線大尺寸高精度平面反射鏡工程化應用提供了堅實的技術保障。
工藝測試專家組聽取項目組研制報告并審議測試大綱
大尺寸高精度平面反射鏡檢測中
大尺寸平面反射鏡斜率誤差檢測結果
大尺寸平面反射鏡表面粗糙度檢測結果