CSRe X射線內(nèi)靶裝置(CSRe-IT)由團簇源、碰撞室和收集級三部分組成。預(yù)冷至露點附近的氣體由Laval噴嘴注入真空腔體,并在噴射過程中通過絕熱膨脹冷卻到露點以下,降低橫向速度并形成微小團簇。經(jīng)四級準(zhǔn)直光闌后形成直徑約3~5毫米的團簇束,和儲存環(huán)中的離子束交叉碰撞,未反應(yīng)的靶束被收集級抽走。該裝置可以保證在5×10<sup>-9</sup>Pa的背景真空條件下,提供等效厚度約為1013 atoms/cm<sup>2</sup>的Ne、Ar、Kr、Xe、N2和1012 atoms/cm<sup>2</sup>的H2團簇束。碰撞靶室在多個角度配有鈹窗和半導(dǎo)體X射線探測器,可以進行高能、高電荷態(tài)重離子與原子碰撞的X射線譜學(xué)測量,開展如輻射電子俘獲、原子內(nèi)殼層多重電離等研究。